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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司
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How to Make SEM Free to Achieve

 發(fā)布時間:2019/7/30 點擊量:1762
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20 世紀的人們在dian話亭中言語的畫面還歷歷在目,轉(zhuǎn)眼到了21 世紀,我們就已經(jīng)用上了手機,不僅體積小巧,信號質(zhì)量更好,而且功能愈加豐富。那么在這幾十年的時間里,掃描電鏡有沒有變得更小巧、分辨率更好呢?

 

答案當然是肯定的。首先,我們來簡單回顧一下掃描電鏡的發(fā)展歷史:

 

1953 年

英國劍橋大學(xué)的麥哲馬倫等人研制成功di一臺實用型掃描電鏡,分辨率達到 50 nm

 

1965 年

英國劍橋科學(xué)儀器公司研制成功di一臺商用掃描電鏡 Mark I,其分辨率為 10 nm,從此揭開了掃描電鏡研發(fā)、制造和應(yīng)用的開端

 

1975 年

美國將微型計算機引入到掃描電鏡中,用于程序協(xié)調(diào)控制加速電壓,放大倍數(shù)和磁透鏡焦距的關(guān)系,二次電子圖像分辨率可達 6 nm

 

2005 年

美國發(fā)布di一臺具有超高分辨率的帶有低真空的場發(fā)射電鏡,其分辨率為 1.0 nm

 

2010 年

冷場掃描電鏡的上市將分辨率提升到了 0.4 nm

 

由此脈絡(luò)可以清晰地看處,隨著科技的發(fā)展,掃描電鏡的分辨率在逐漸降低并趨近于電子束波長(0.01-0.001 nm),其好處不言而喻——能夠通過電鏡看清楚更微小的物體,探索更微觀的世界。

 

世界di一臺掃描電鏡

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