高性?xún)r(jià)比掃描電鏡 Phenom Pure 裝配的基本組件可以滿(mǎn)足高分辨率成像的要求，這些基本組件不僅可以保證電鏡高質(zhì)量的成像，而且能夠?qū)崿F(xiàn)快速裝載樣品，短時(shí)間內(nèi)成像。精確的自動(dòng)聚焦和電子束自動(dòng)對(duì)中使飛納電鏡系列成為市場(chǎng)上受用戶(hù)歡迎、操作簡(jiǎn)單的智能型掃描電鏡。對(duì)于有高分辨率成像需求的用戶(hù)來(lái)說(shuō)， Phenom Pure 可以提供經(jīng)濟(jì)、高效的解決方案。
掃描電鏡工作原理
1.掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過(guò)磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過(guò)二至三個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會(huì)聚成一個(gè)細(xì)的電子束聚焦在樣品表面。在未級(jí)透鏡上邊裝有掃描線(xiàn)圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結(jié)果產(chǎn)生了各種信息:二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線(xiàn)、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。
2.這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過(guò)掃描線(xiàn)圈上的電流是與顯像管相應(yīng)的亮度——對(duì)應(yīng)，也就是說(shuō)，電子來(lái)打到樣品上一點(diǎn)時(shí)，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn)。掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地也轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)，完成一楨圖像，從而使我們?cè)跓晒馄辽嫌^察到樣品表面的各種特征圖像。
